拓荆科技：PEALD设备已实现产业化应用 ThermalALD目前根据客户指标进行验证测试
摘要: 拓荆科技于近日接受投资者调研时表示，公司PEALD设备可以覆盖逻辑芯片55-14nmSADP、STI工艺及存储领域，该产品已......
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白癜风遮盖 拓荆科技于近日接受投资者调研时表示，公司PEALD设备可以覆盖逻辑芯片55-14nm SADP、STI工艺及存储领域，该产品已实现产业化应用；Thermal ALD主要应用于28nm以下制程逻辑芯片，目前根据客户指标进行优化设计和验证测试。 （文章来源：界面新闻） 文章来源：界面新闻
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